半导体、LCD表面检测和测量用什么显微镜？-体视显微镜

 半导体、LCD表面检测和测量用什么显微镜？ 
 半导体、LCD表面检测通常会用到同轴光体视显微镜，一般的体视显微镜或立体显微镜多采用外置辅助照明(包括光纤冷光源，双支、单支及环形，外置的台式卤素灯，LED环形灯等)或显微镜支架带的斜射照明。但是针对一些细小的划痕则用同轴光照明效果会更加。
同轴光体视显微镜是采用同轴落射光照明技术的显微镜,配置的同轴光源，提供了比传统光源更均匀的照明，因此提高了视觉的准确性和重现性。同轴光照明可均匀照亮平面，有光泽的表面 ，加强划刻，凹陷，或压印特征，以便于检测人员做出更准确的判断。