隧道扫描显微术( Scanning Tunneling Microscopy , STM )是利用量子隧道效应的表面研究技术。能实时、原位观察样品最表面层的局域结构信息,能达到原子级的高分辨率。它没有镜头,使用一根探针,探针和物体之间加上电压。如果探针距离物体表面很近,大约在纳米级的距离上,隧道效应就会起作用。电子会穿过物体与探针之间的空隙,形成一股微弱的电流。如果探针与物体的距离发生变化,这股电流也会相应改变。这样,通过测量电流我们就能知道物体表面的形状,分辨率可以达到单个原子的级别。电子显微镜的分辨率已达到0.1~0.3nm,即与金属点阵中原子间距相当