仪器用途:
LW400JT适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查;也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查。
性能特点
1、 配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片)。
2、配置移动载物台
3、粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm。
4、6V 20W卤素灯,亮度可调。
5、三目镜筒,可切换正常观察与偏光观察,可进行100%透光摄影。
主要技术参数:
1、三目镜筒:倾斜30 °,瞳距55mm-75mm,视度±5°
2、目镜:WF10X/18mm
3、长距平场消色差物镜(无盖玻片)
PL 5X/0.12 、PL L10X/0.25 、PL L20X/0.40
PL L40X/0.60 、PL L80X/0.8
4、总放大倍数:50X-800X
5、载物台:尺寸: 280mm×270mm,移动范围: 204mm×204mm
6、调焦:粗微动同轴 升降范围25mm
微动格值0.002mm
7、反射光 源:12V20W亮度可调,落射照明器带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃
8、正交偏光装置
1、目镜:WF16X/11mm,WF20X/9mm,
10X带尺可调目镜
2、长距平场消色差物镜(无盖玻片)
PL L 50X/0.70、 PL L 60X/0.75 (弹簧)、 PL L 100X/0.85 (弹簧)
平场消色差物镜(无盖玻片): PL 100X/1.25 (弹簧,油)
3、成像系统:数码摄像头500万、800万、1600万相素
4、测量软件,金相分析软件等