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用途:DIC95微分干涉显微镜,可选配微分干涉物镜,光源可选LED和光纤冷光源,物镜上方的DIC棱镜可作水平和上下微调,两个方向的线偏振光分合所形成的浮雕图像,适合于芯片封装后的品检很微小的突起,细微划痕的观察,测量.
物镜规格:
f=200mm用全平场复消色差物镜/M Plan APO
物镜数据
倍率
2X
5X
10X
20X
50X
100X
NA
0.055
0.14
0.28
0.42
0.55
W.D(mm)
34
33.5
20
13
焦点距离(mm)
100
40
10
4
2
分解率(µm)
5
1
0.7
0.5
焦深(µm)
91
14
3.58
1.6
0.9
宽视野2/3”sensor(mm)
4.4 *3.3
1.76*1.32
0.88*0.66
0.44* 0.33
0.176*0.132
0.088*0.066
宽视野1/2sensor(mm)
3.2 * 2.4
1.28*0.96
0.64* 0.48
0.32*0.24
0.128*0.096
0.064 *0.048